Методы коррекции эффекта близости в электронно-лучевой литографии / К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе и др.
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | М. , 1985 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
29 с. : рис.
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Физика твердого тела
Препр. № 350 |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||