Методы коррекции эффекта близости в электронно-лучевой литографии / К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
29 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Физика твердого тела
Препр. № 350 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||