Методы коррекции эффекта близости в электронно-лучевой литографии / К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе и др.
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| Veröffentlicht: | М. , 1985 |
| Beschreibung: |
29 с. : рис.
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Физика твердого тела
Препр. № 350 |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||