|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr23198060000 |
| 005 |
20160519132436.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [86-14831]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071112d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы коррекции эффекта близости в электронно-лучевой литографии
$f К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе и др.
$g АН СССР. Ин-т общ физики. Отд. микроэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 29 с.
$c рис.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Физика твердого тела
$v Препр. № 350
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 22-24 (26 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Литография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные
|
| 675 |
# |
# |
$a 655.342.002.5:621.382.049.75
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071112
$g psbo
|
