Методы измерения и аппаратура для промышленного контроля качества полупроводниковых структур: Материалы Второго межведомственного науч.-техн. совещания по метрике полупроводниковых структур. (18-20 сент. 1973 г.)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ "Электроника" , 1973 |
| Физические характеристики: |
60 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров. Серия: Управление качеством и стандартизация
Вып. 1 (19) |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr23190600000 | ||
| 005 | 20071112144812.0 | ||
| 010 | # | # | $d 44 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [74-48462] |
| 100 | # | # | $a 20071112d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Методы измерения и аппаратура для промышленного контроля качества полупроводниковых структур $e Материалы Второго межведомственного науч.-техн. совещания по метрике полупроводниковых структур. (18-20 сент. 1973 г.) |
| 210 | # | # | $a М. $c ЦНИИ "Электроника" $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 60 с. |
| 225 | 2 | # | $a Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров. Серия: Управление качеством и стандартизация $f М-во электронной пром-сти СССР $v Вып. 1 (19) |
| 675 | # | # | $a 621.317.799:621.315.5(063) |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071112 $g psbo |