Методы измерения и аппаратура для промышленного контроля качества полупроводниковых структур: Материалы Второго межведомственного науч.-техн. совещания по метрике полупроводниковых структур. (18-20 сент. 1973 г.)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ "Электроника" , 1973 |
| Физические характеристики: |
60 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров. Серия: Управление качеством и стандартизация
Вып. 1 (19) |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||