|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr21880870000 |
| 005 |
20210430101603.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 6 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-95385]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071005d1983 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a KZ
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование профилей распределения ионов низкой энергии, имплантированных в кремнии
$f Б. Н. Мукашев, К. Ш. Чокин, Ж. А. Кусаинов и др.
|
| 210 |
# |
# |
$a Алма-Ата
$d 1983
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препринт
$f АН КазССР. Ин-т физики высоких энергии
$v ИФВЭ 83-22
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 9-11 (17 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Ионы
|
| 675 |
# |
# |
$a 537.311.322:539.1.04
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071005
$g psbo
|
