Использование аномального тлеющего разряда для спазмохимической обработки кремния / Г. С. Кириченко, К. Л. Кругликова, С. Н. Павлов, В. М. Слободан
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Киев , 1991 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
КИЯИ-91-23 |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr21830440000 | ||
| 005 | 20140214123317.0 | ||
| 010 | # | # | $d 6 к. |
| 100 | # | # | $a 20071005d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Использование аномального тлеющего разряда для спазмохимической обработки кремния $f Г. С. Кириченко, К. Л. Кругликова, С. Н. Павлов, В. М. Слободан |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 23 с. $c ил. |
| 225 | 2 | # | $a Препр. $f АН УССР, Ин-т ядер. исслед. $v КИЯИ-91-23 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 23 (16 назв.) |
| 345 | # | # | $9 160 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Кремний - Обработка |
| 610 | 0 | # | $a Тлеющий разряд |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002:621.794.4.048 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071005 $g psbo |