Использование аномального тлеющего разряда для спазмохимической обработки кремния / Г. С. Кириченко, К. Л. Кругликова, С. Н. Павлов, В. М. Слободан
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Киев , 1991 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
КИЯИ-91-23 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||