Измерение дозовых характеристик негативных рентгенорезистов с помощью лазер-плазменного источника мягкого рентгеновского излучения / В. П. Автономов, Ю. Г. Геонджиан, А. В. Орлов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
15 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 74 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||