Емкостная спектроскопия дефектов термообработки в кремнии / Е. В. Астрова, В. Б. Воронков, В. А. Козлов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
26 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
1161 |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr21401310000 | ||
| 005 | 20180518150911.0 | ||
| 010 | # | # | $d Беспл. |
| 021 | # | # | $a RU $b [87-84920] |
| 100 | # | # | $a 20071009d1987 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Емкостная спектроскопия дефектов термообработки в кремнии $f Е. В. Астрова, В. Б. Воронков, В. А. Козлов и др. |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 26 с. $c ил. |
| 225 | 2 | # | $a Препр. $f АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе $v 1161 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 25-26 (18 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Кремний - Дефекты |
| 675 | # | # | $a 621.315.592 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071009 $g psbo |