Емкостная спектроскопия дефектов термообработки в кремнии / Е. В. Астрова, В. Б. Воронков, В. А. Козлов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
26 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
1161 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||