Влияние термоотжига на структурное совершенство монокристаллического кремния / А. И. Курбаков, А. Г. Итальянцев, В. Н. Мордкович, Э. Э. Рубинова и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. : Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР , 1985 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 1125 |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr20557730000 | ||
| 005 | 20140214124528.8 | ||
| 010 | # | # | $d Беспл. |
| 021 | # | # | $a RU $b [86-98228] |
| 100 | # | # | $a 20070924d1985 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Влияние термоотжига на структурное совершенство монокристаллического кремния $f А. И. Курбаков, А. Г. Итальянцев, В. Н. Мордкович, Э. Э. Рубинова и др. |
| 210 | # | # | $a Л. $c Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 13 с. |
| 225 | 2 | # | $a Препр. $f АН СССР. Ленингр. ин-т ядер. физики им. Б. П. Константинова $v № 1125 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 12 (10 назв.) |
| 345 | # | # | $9 220 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Кремний, монокристаллы |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070924 $g psbo |