Влияние термоотжига на структурное совершенство монокристаллического кремния / А. И. Курбаков, А. Г. Итальянцев, В. Н. Мордкович, Э. Э. Рубинова и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. : Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР , 1985 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 1125 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||