Исследование и разработка оптических систем для автоматизированного контроля дефектов внешнего вида изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.07) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Широков, А. К. |
| Опубликовано: | Л. , 1986 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr19111680000 | ||
| 005 | 20070514171449.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070514d1986 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка оптических систем для автоматизированного контроля дефектов внешнего вида изделий микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.11.07) $f Ленингр. ин-т точ. механики и оптики |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (6 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.11.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Широков $b А. К. $g Александр Константинович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070514 $g psbo |