Исследование и разработка оптических систем для автоматизированного контроля дефектов внешнего вида изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.07) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Широков, А. К. |
| Опубликовано: | Л. , 1986 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||