Исследование и разработка гибких металлических оболочек волновых форвакуумных насосов для технологического оборудования электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн наук: (05.02.12)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шиленко, Е. С. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr19065800000 | ||
| 005 | 20070514173851.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070514d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка гибких металлических оболочек волновых форвакуумных насосов для технологического оборудования электронной техники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн наук $e (05.02.12) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электр. машиностроения. Библиогр.: с. 26-27 (5 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 621.52 |
| 686 | # | # | $a 05.02.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Шиленко $b Е. С. $g Елена Станиславовна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070514 $g psbo |