Исследование и разработка гибких металлических оболочек волновых форвакуумных насосов для технологического оборудования электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн наук: (05.02.12)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шиленко, Е. С. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||