Развитие метода эллипсометрии для исследования неоднородных слоистых структур: (01.04.05): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т автоматики и электрометрии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Швец, В. А. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1988 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18889160000 | ||
| 005 | 20070511155120.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [88-8819а] |
| 100 | # | # | $a 20070511d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Развитие метода эллипсометрии для исследования неоднородных слоистых структур $e (01.04.05) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т автоматики и электрометрии |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-17 (14 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Швец $b В. А. $g Василий Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070511 $g psbo |