Развитие метода эллипсометрии для исследования неоднородных слоистых структур: (01.04.05): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т автоматики и электрометрии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Швец, В. А. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1988 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||