Исследование и разработка процессов осаждения из газовой фазы многослойных структур быстродействующих кремниевых БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН СССР, Физ.-Технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шаповал, С. Ю. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||