
Получение и свойства аморфных пленок нитрида кремния
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Чу, Т. |
出版: | М. , 1967 |
實物描述: |
29 с.
|
語言: | Русский |
叢編: |
Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 102/ЭТ-2708 |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|