Получение и свойства аморфных пленок нитрида кремния
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Чу, Т. |
| Veröffentlicht: | М. , 1967 |
| Beschreibung: |
29 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 102/ЭТ-2708 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||