Изготовление и C-V характеристики структур Si-Si₃N₄ и Si-SiO₂-Si₃N₄
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чу, Т. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1968 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностр. литературы. Серия: "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника"
Пер. № 8/ЭТ-2898 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||