Фотолитография в производстве полупроводниковых устройств: (Аннотированный указатель литературы за 1964-I квартал 1967 г.) / Сост.: А. Н. Чернова. Ред. И. М. Лим
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чернова, А. Н. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1967 |
| Физические характеристики: |
67 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы. Серия "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника"
ТУЛ № 18 |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18399910000 | ||
| 005 | 20070503171834.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070503d1967 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Фотолитография в производстве полупроводниковых устройств $e (Аннотированный указатель литературы за 1964-I квартал 1967 г.) $f Сост.: А. Н. Чернова. Ред. И. М. Лим |
| 210 | # | # | $a М. $c ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации $d 1967 |
| 215 | # | # | $a 67 с. |
| 225 | 2 | # | $a Тематические указатели литературы. Серия "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника" $f М-во электронной пром-сти СССР $v ТУЛ № 18 |
| 300 | # | # | $a На обл. сост. не указан |
| 675 | # | # | $a 016:621.382 |
| 700 | # | 1 | $a Чернова $b А. Н. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070503 $g psbo |