Фотолитография в производстве полупроводниковых устройств: (Аннотированный указатель литературы за 1964-I квартал 1967 г.) / Сост.: А. Н. Чернова. Ред. И. М. Лим
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чернова, А. Н. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1967 |
| Физические характеристики: |
67 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы. Серия "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника"
ТУЛ № 18 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||