Разработка методов получения эпитаксиальных слоев нитридов алюминия и галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Чегнов, В. П. |
Опубликовано: | М. , 1980 |
Физические характеристики: |
27 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|