Исследование технологического процесса вакуумной металлизации тонкопленочных микроприборов: (05.12.08): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Том. ин-т автоматизир. систем упр. и радиоэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хороменко, А. А. |
| Опубликовано: | Томск , 1976 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17968040000 | ||
| 005 | 20070502154626.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [76-7720а] |
| 100 | # | # | $a 20070502d1976 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование технологического процесса вакуумной металлизации тонкопленочных микроприборов $e (05.12.08) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Том. ин-т автоматизир. систем упр. и радиоэлектроники |
| 210 | # | # | $a Томск $d 1976 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 19-20 (16 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.12.08 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Хороменко $b А. А. $g Александр Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070502 $g psbo |