Исследование технологического процесса вакуумной металлизации тонкопленочных микроприборов: (05.12.08): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Том. ин-т автоматизир. систем упр. и радиоэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хороменко, А. А. |
| Опубликовано: | Томск , 1976 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||