Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем / АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Харченко, В. В. |
| Опубликовано: | Ташкент : Фан , 1989 |
| Физические характеристики: |
167, [1] с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||