Технология получения инертных газов высокой чистоты в процессе ионной обработки электровакуумных приборов с применением титановых геттеров в условиях электроразряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (17.16) / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Харитонова, Л. С. |
Опубликовано: | М. , 1972 |
Физические характеристики: |
19 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|