Технология получения инертных газов высокой чистоты в процессе ионной обработки электровакуумных приборов с применением титановых геттеров в условиях электроразряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (17.16) / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Харитонова, Л. С. |
| Опубликовано: | М. , 1972 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||