Технология получения инертных газов высокой чистоты в процессе ионной обработки электровакуумных приборов с применением титановых геттеров в условиях электроразряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (17.16) / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Харитонова, Л. С. |
| Опубликовано: | М. , 1972 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17762770000 | ||
| 005 | 20070502151238.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070502d1972 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Технология получения инертных газов высокой чистоты в процессе ионной обработки электровакуумных приборов с применением титановых геттеров в условиях электроразряда $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (17.16) $f Моск. ин-т электронного машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1972 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 18-19 (12 назв.) |
| 686 | # | # | $a 17.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Харитонова $b Л. С. $g Лилия Семеновна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070502 $g psbo |