Разработка технологических основ оперативного регулирования процесса изготовления интегральных схем на биполярных и полевых транзисторах: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.11)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Паометс, В. Т. |
| Опубликовано: | Таганрог , 1977 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||