Моделирование технологических процессов микроэлектроники: Теормообработка и окисление : Учеб. пособие / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Панюхин, А. В. |
| Published: | М. , 1991 |
| Physical Description: |
75 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||