Моделирование технологических процессов микроэлектроники: Теормообработка и окисление : Учеб. пособие / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панюхин, А. В. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
75 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||