|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17600870000 |
| 005 |
20160421141833.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [92-17961]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070424d1991 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование технологических процессов микроэлектроники
$e Теормообработка и окисление : Учеб. пособие
$f Моск. ин-т электрон. машиностроения
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$a 75 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 74 (19 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний
|
| 610 |
0 |
# |
$a Математическая физика - Уравнения
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Панюхин
$b А. В.
$g Алексей Васильевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070424
$g psbo
|
