Основы расчета и выбора параметров автоматизированного вакуумно-технологического оборудования по критерию минимума привносимой дефектности: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.13.07 ; 05.27.07) / Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панфилов, Ю. В. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||