Исследование быстродействия и точности высоковакуумного следящего гидропривода с целью повышения производительности автоматизированных установок электронной литографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12) / Моск. высш. техн. уч-ще им. Н. Э. Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панкратов, И. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1984 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17558500000 | ||
| 005 | 20070424175234.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070424d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование быстродействия и точности высоковакуумного следящего гидропривода с целью повышения производительности автоматизированных установок электронной литографии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.02.12) $f Моск. высш. техн. уч-ще им. Н. Э. Баумана |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.02.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Панкратов $b И. В. $g Игорь Витальевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070424 $g psbo |