Исследование быстродействия и точности высоковакуумного следящего гидропривода с целью повышения производительности автоматизированных установок электронной литографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12) / Моск. высш. техн. уч-ще им. Н. Э. Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панкратов, И. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1984 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||