Влияние условий сформирования пленки нитрида кремния методом реактивного ионно-плазменного распыления на зарядовые характеристики границы раздела нитрид кремния-полупроводник: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Орлов, О. А. |
| Опубликовано: | Горький , 1987 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||