Исследование деформаций, разработка методик и промышленной аппаратуры для контроля геометрических параметров кремниевых структур с диэлектрической изоляцией: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Оксанич, А. П. |
| Опубликовано: | М. , 1980 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||