Исследование и разработка методов повышения прецизионности операции диффузии при создании больших интегральных схем путем управления параметрами газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.11)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Одиноков, А. И. |
| Опубликовано: | М. , 1977 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||