|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17057900000 |
| 005 |
20070423140316.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-80103]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070423d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы зарождения и роста тонких пленок
$e Учеб. пособие по курсу «Технология интегр. микросхем» (для студентов спец. 0705) веч. обучения
$f Под ред. Черняева В. Н.
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c [Б. и.]
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 39 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского, Каф. «Технология пр-ва РЭА»
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Получение
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Обичкин
$b Ю. Г.
$g Юрий Геннадиевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070423
$g psbo
|
