Физические основы зарождения и роста тонких пленок: Учеб. пособие по курсу «Технология интегр. микросхем» (для студентов спец. 0705) веч. обучения / Под ред. Черняева В. Н.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Обичкин, Ю. Г. |
| Опубликовано: | М. : [Б. и.] , 1981 |
| Физические характеристики: |
39 с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||