Диагностика ионно-имплантированных слоев в полупроводниках методами растровой электронной микроскопии: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Ншанян, Т. А. |
| Wydane: | М. , 1981 |
| Opis fizyczny: |
24 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||