Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: 114037/89,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Носков, А. Г.
Опубликовано: Новосибирск , 1989
Физические характеристики: 21 с. : граф.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr17010090000
005 20070420171128.0
021 # # $a RU  $b [90-6209а] 
100 # # $a 20070420d1989 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы  $e (01.04.07)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников 
210 # # $a Новосибирск  $d 1989 
215 # # $a 21 с.  $c граф. 
300 # # $a Библиогр.: с. 20-21 (11 назв.) 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Носков  $b А. Г.  $g Анатолий Григорьевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070420  $g psbo