|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17010090000 |
| 005 |
20070420171128.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-6209а]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070420d1989 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы
$e (01.04.07)
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c граф.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 20-21 (11 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Носков
$b А. Г.
$g Анатолий Григорьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070420
$g psbo
|
