Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Носков, А. Г. |
| Апублікавана: | Новосибирск , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
21 с. : граф.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||