Повышение эффективности вакуумного напыления путем регулируемой ионизации паров осаждаемого вещества: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.02.08 ; 05.02.01) / Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Никитин, М. М. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
36 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16787600000 | ||
| 005 | 20070418172402.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070418d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Повышение эффективности вакуумного напыления путем регулируемой ионизации паров осаждаемого вещества $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (05.02.08 ; 05.02.01) $f Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 36 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 31-36 (48 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.02.08 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.02.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Никитин $b М. М. $g Михаил Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070418 $g psbo |