Повышение эффективности вакуумного напыления путем регулируемой ионизации паров осаждаемого вещества: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.02.08 ; 05.02.01) / Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Никитин, М. М. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
36 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||