![](/themes/root/images/default-cover.png)
Влияние водорода на свойства слоистых структур на основе кремния и арсенида галлия при низкотемпературной ВЧ-плазменной обработке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН Украины, Ин-т полупроводников
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Наумовец, Г. А. |
Опубликовано: | Киев , 1992 |
Физические характеристики: |
14 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr16570810000 | ||
005 | 20070412183200.0 | ||
100 | # | # | $a 20070412d1992 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a UA |
200 | 1 | # | $a Влияние водорода на свойства слоистых структур на основе кремния и арсенида галлия при низкотемпературной ВЧ-плазменной обработке $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) $f АН Украины, Ин-т полупроводников |
210 | # | # | $a Киев $d 1992 |
215 | # | # | $a 14 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 13-14 |
686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Наумовец $b Г. А. $g Григорий Антонович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070412 $g psbo |