Влияние водорода на свойства слоистых структур на основе кремния и арсенида галлия при низкотемпературной ВЧ-плазменной обработке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН Украины, Ин-т полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: 179470/92,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Наумовец, Г. А.
Опубликовано: Киев , 1992
Физические характеристики: 14 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr16570810000
005 20070412183200.0
100 # # $a 20070412d1992 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Влияние водорода на свойства слоистых структур на основе кремния и арсенида галлия при низкотемпературной ВЧ-плазменной обработке  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.10)  $f АН Украины, Ин-т полупроводников 
210 # # $a Киев  $d 1992 
215 # # $a 14 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 13-14 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Наумовец  $b Г. А.  $g Григорий Антонович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070412  $g psbo